ガス名 | 英名 | 同位体種 |
---|---|---|
水素 | Deuterium | D2, 1H2, HD |
ヘリウム | Helium | 3He |
窒素 | Nitrogen | 15N2 |
酸素 | Oxygen | 17O2, 18O2 |
ネオン | Neon | 20Ne, 22Ne |
クリプトン | Krypton | 78Kr, 80Kr, 82Kr, 83Kr, 84Kr, 86Kr |
キセノン | Xenon | 124Xe, 126Xe, 128Xe, 129Xe, 130Xe, 131Xe, 132Xe, 134Xe, 136Xe |
アンモニア | Ammonia | 15NH3, ND3, 15ND3 |
メタン | Methane | 12CH4, 13CH4, CD4, 13CD4 |
一酸化炭素 | Carbon Monoxide | 13CO, C18O, 13C18O |
二酸化炭素 | Carbon Dioxide | 13CO2, C18O2, 13C18O2 |
一酸化窒素 | Nitric Oxide | 15NO, N18O, 15N18O |
二酸化窒素 | Nitrogen Dioxide | 15NO2, N18O2, 15N18O2 |
亜酸化窒素 | Nitrous Oxide | 15N14NO, 15N2O |
エチレン | Ethylene | 13C2H4, C2H2D2, C2D4 |
成分ガス | 濃度 | バランスガス |
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15N2 | 1000ppm~3% | He, O2, Ar, CO2など |
18O2 | 70ppm~20% | He, N2, Ar, CO2など |
13CO2 | 30ppm~5% | H2, He, N2Airなど |